日本照片扫描仪(日本照片扫描神器)

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首页办公设备扫描仪更新时间:2021-12-12 21:35:20

大家好~我又来拆电镜了!

上次给大伙拆了全网首拆!扫描电镜专用,英国牛津产X射线能谱分析仪(EDS) ,今天给大伙拆一下这个镜子的电子枪吧。

为啥要拆电子枪呢?这个话题要从遥远的2019年说起,那时还没有疫情爆发,那时还没有过年放假,深圳一位老大哥看我折腾的难受,于是说要支援我半套残废的镜子直接研究,于是乎镜子就在今年4月份到家了。

但是呢这玩意没有驱动部分,没有电控部分也没有图纸手册,所以想要知道电子枪上这一大把电缆的连接定义,就只能拆了。

这套镜子到家之后经过别扭的拆解,上楼组装真空系统,从到处漏气收拾到能抽到5e-6Torr,难为了我一个多月,眼看着收拾利索的真空系统要拆解破坏重新来调,心情格外蛋疼但是不拆也没办法,找不到接线定义等于废铁,最后纠结一个多月(其实是懒)决定开干!

废话不多说了上图 各位开始看戏

首先上图镜子组装完之后镜体和自己焊接的不锈钢角铁机架(电控部分还没做只做了真空系统逻辑控制部分)

电子枪顶端灯丝仓,打开可以看到里面的韦氏冒(栅极)里面包裹的是灯丝

透过电子枪真空管路接口向内看,可以看到电子枪的两个电极——栅极和阳极

韦氏冒拔下来可以看到里面的灯丝,放大可以看到发叉型灯丝的尖端在栅极孔的正中心

OK 开拆电子枪本体,电子枪总览

去掉灯丝栅极组件的阳极帽部分

特写,可以看到阳极帽上被电子打过的痕迹,可以猜测这个镜子用的时间不算短

拆掉第一级镜筒组件,可以看到第一层电子透镜(电子透镜用来汇聚电子束)

第一级电子透镜光栅特写

拆掉螺丝拿出第一级电子透镜和阳极帽总成,可以看到里面的电子透镜线圈

线圈特写,此组线圈用来对电子枪的电子束光斑进行形变矫正,每次更换灯丝之后阴极(灯丝)栅极相对于阳极的位置就会发生微小的变化。

这些变化会导致电子束打在最终样品上的光斑由圆形变成椭圆形,导致电镜在高倍率(10000X)下相场模糊或者被观测物体有形变。

这时就需要用到这两组线圈来校正光斑,使光斑达到最完美的圆形来消除这种畸变

阳极帽特写,灯丝通电被加热后电子会溢出在韦氏冒(栅极)周围形成电子云,在阳极电场的吸引下高速射出行程电子束

阳极组件和光栅管

拧开阳极帽后看到电子枪校正线圈组的真面目,该组线圈由两组组成每组线圈又分为X和Y两个方向。

给不同线圈施加电压从而达到校正的目的

第一组拆解完毕,接下来的一组镜筒内是聚焦电磁透镜组。

该组线圈由两个聚焦线圈组成,硕大而厚实的线圈可以提供强有力的磁场将电子束聚焦到几nm的光斑,从而达到200000X的放大倍率。

线圈特写

拆掉聚焦线圈组后,就看到了最核心的扫描和相差校正线圈组,该组线圈外面铁壳内还有一组物镜线圈。

电子束射出聚焦透镜组后,进入扫描线圈组的光栅

拆开聚焦透镜组后端的盖板,里面还有一个手动光栅组件,该组件可以人为选择电子束的光斑直径

光栅背面特写

光栅正面特写,以看到两个光栅上都有电子束打过的痕迹,而且颜色都不相同很好看。

眼尖的您能看得到光栅孔的位置吗?

光栅组件拆完之后,有个奇怪的结构类似涡旋压缩机的转子一层一层围绕在光栅杆外围

考虑良久分析之后,想到这个结构部件的可能用途之一是吸收打在光栅板上的溅射电子,防止溅射电子被带入下一级电子透镜和光栅。

聚焦透镜组出射光栅

扫描透镜组入射光栅

取出光栅头后的扫描透镜组件和物镜总成

物镜(本质是一个锥形电磁线圈)

拆掉物镜外壳后内部的结构

物镜外壳锈蚀严重

值得庆幸的是物镜光栅是纯紫铜的并没有受到腐蚀

被电子溅射形成色斑的物镜镜筒

物镜镜筒光栅

小心翼翼的抽出扫描线圈组件

组件内各类电磁透镜的极靴管

线圈组特写,从左至右依次为:第一级辅助聚焦线圈,像散修正线圈组(8枚空心小线圈),扫描线圈,第二级辅助聚焦线圈。

像散修正线圈组特写

整个透镜组特写

最后上图描述一下,如何查找每组线圈对应的接线和功能——热成像!

是的,利用电流在线圈内会发热的原理,给线圈施加500mA的电流,然后用热成像观察发热的线圈,从而得出接线端子和线圈的对应关系。

通过给线束相同的接头,通电利用热像观察,就可以准确的分析出正在通电的接头和线圈的对应关系。

这样就能快速准确的理清这一大堆插头连线的功能

这是一天折腾之后摸索出的所有线圈接线和功能

最后回到家里将电子枪组装起来,抽真空实验结果,还好没有作孽,真空度轻松的达到了3e-5Torr

至此,全剧终。各位看官下期节目在会


谢谢观看!

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作者:liukai163

本文来源:数码之家

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