原理是利用了压阻原理来实现压力监测的传感器。目前主要是MEMS技术来实现。
单晶硅具有良好的压阻效应,因此目前的压阻式压力传感器是主要都是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件
原理是利用了压阻原理来实现压力监测的传感器。目前主要是MEMS技术来实现。
单晶硅具有良好的压阻效应,因此目前的压阻式压力传感器是主要都是利用单晶硅的压阻效应而构成。采用单晶硅片为弹性元件
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