你这里问到的是三个问题。
一、测纯径向跳动误差的方法是:在转台中心安装一个高光洁度、高精度的球,尽量保证与转台中心的同心度,然后用聚光镜把从干涉镜出来的光聚到球的表面,调整位置,使得回光信号稳定。然后用动态测量就可以开始测量了。
二、轴向跳动和径向跳动的方法类似,只是镜子要换个方向安装了。
三、角度摆摆动误差用测旋转轴的专用镜子就可以测了。
你这里问到的是三个问题。
一、测纯径向跳动误差的方法是:在转台中心安装一个高光洁度、高精度的球,尽量保证与转台中心的同心度,然后用聚光镜把从干涉镜出来的光聚到球的表面,调整位置,使得回光信号稳定。然后用动态测量就可以开始测量了。
二、轴向跳动和径向跳动的方法类似,只是镜子要换个方向安装了。
三、角度摆摆动误差用测旋转轴的专用镜子就可以测了。
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