两级效应（一级效应和二级效应是什么意思）

从电磁场模型角度来看，光线在掩模的相互作用分为一级散射效应和二级散射效应。

一级散射效应只考虑掩模上图形边缘对入射光线的散射，也包括散射束之间的干涉效应。

二级散射效应指的是进一步考虑到散射束再次被邻近图形边缘散射的结果，即边缘相互作用效应。