光刻机最难的是光学部件。
光刻机是一种用于制造微电子芯片的关键设备，其中光源和光学部件是两个重要组成部分。
然而，从技术难度和复杂性来看，光学部件更加困难。
首先，光学部件在光刻机中扮演着将光源发出的光线聚焦到芯片表面上的关键角色。
光学部件需要具备高精度的光学设计和制造技术，以保证光线的聚焦效果。
这需要光学工程师具备深厚的光学知识和经验，并且需要使用复杂的制造工艺来制造高质量的光学部件。
其次，光学部件还需要具备良好的稳定性和耐用性。
光刻机在工作过程中需要长时间保持高精度的光学性能，而光学部件的稳定性对于保证光刻机的长期稳定运行至关重要。
此外，光刻机的工作环境通常比较恶劣，光学部件需要能够抵御高温、高压等条件的影响，这也增加了光学部件的难度。
最后，光学部件的研发和制造成本较高。
由于光学部件需要具备高精度和稳定性，其制造过程需要使用昂贵的材料和设备，并且需要进行复杂的加工和测试。
这使得光学部件的研发和制造成本较高，也增加了其难度。
综上所述，光刻机中的光学部件相较于光源而言更加困难。
光学部件需要具备高精度的光学设计和制造技术，良好的稳定性和耐用性，以及较高的研发和制造成本。
因此，光学部件是光刻机中最难的部分。
