平面度是衡量一个平面的平整程度的参数。它的测量范围主要取决于所使用的测量方法和工具。在实际应用中，平面度测量范围可能因设备、测量条件和应用领域而异。
以下是一些常用的平面度测量方法和工具：
1. 三坐标测量机（CMM）：三坐标测量机是一种高精度的测量设备，可以对各种形状、尺寸和表面质量进行测量。它们通常具有多种测量参数，包括平面度、直线度、圆度等。根据测量机的精度和分辨率，其测量范围可以达到亚微米级或纳米级。
2. 激光干涉仪：激光干涉仪主要用于测量激光的波长和频率。然而，它们也可以用于测量平面度。激光干涉仪可以测量微小的平面度误差，但其测量范围通常受限于光路的长度和干涉条纹的分辨率。
3. 角度测量机：角度测量机主要用于测量物体的角度和形状。虽然它们通常不直接测量平面度，但可以通过计算表面的最大变化率来间接评估平面度。角度测量机的测量范围取决于它们的精度和分辨率，通常可以达到亚微米级。
4. 接触式测量工具：如卡尺、高度规、塞规等。接触式测量工具可以直接测量表面的高度和平整度，但其测量范围可能受到测量工具尺寸和工作距离的限制。
5. 非接触式测量工具：如激光测距仪、扫描仪等。这些工具通常用于测量远距离或大型物体的表面。虽然它们可以提供较大的测量范围，但其精度和分辨率可能不如接触式测量工具。
在选择合适的平面度测量范围时，需要考虑测量工具的精度、分辨率、工作距离、测量范围以及应用场景等因素。如有疑问，请咨询专业人士。
