opc光刻技术发展前景（染料激光跟opt激光哪个好）

光机所的“OPC”技术能够优化照明模式、晶圆的图形和工艺精度，实现光刻修正效率的大幅提升，从而在硬件不变的情况下，提升高端光刻机的分辨率。

OPC技术或将延续摩尔定律，让已顶到天花板的传统芯片精度，再次得到工艺上的提升。有利于促进opc技术发展与创新。