eva光刻机哪个公司有（eva全自动生产机）

上海微电子。

国内只有一家做光刻机整机的公司，就是上海微电子。目前全球只有四家公司可以制造光刻机，分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子，其他拥有光刻机的公司基本上都是用的荷兰阿斯麦尔公司的光刻机，并不是光刻机制造商。所以国内没有十大光刻机排名，只有四家的排名。