压阻传感器温度误差产生原因（MEMS压阻式传感器原理）

压阻式传感器受温度影响很大,会产生零漂和灵敏度漂移,从而导致温度误差。在压阻式传感器中,扩散电阻的温度系数较大,阻值随温度变化,造成传感器的零漂。

传感器灵敏度的温度漂移是由压阻系数随温度变化引起的。当温度升高时,压阻系数变小,传感器的灵敏度降低。反之,灵敏度增加。

零温漂一般可以通过串并联电阻的方法来补偿。通过在电桥的电源电路中串联二极管来补偿灵敏度温漂。

此外,压阻式传感器还可以将四个扩散电阻连接成一个全桥。为减少温度的影响,可采用恒流源供电。