微机电系统与智能材料的认识（微机电系统与微机电集成技术）

微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)，即微电子机械系统、微系统、微机械等，微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。