slm是standard litre per minute 的缩写,意思是标准状态下1L/min。
slmX60/1000为立方米每小时。
SLM表示标况下（0℃，1 atm ）升每分钟。
SCCM=standard cubic centimeter per minute标准状态毫升/分(ml=cm3),标准状态为 0℃,1atm.
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