mems麦克风的工作原理

麦克风包含一个灵活悬浮的薄膜，它可在一个固定背板之上自由移动，所有元件均在一个硅晶圆上制造。

该结构形成一个可变电容，固定电荷施加于薄膜与背板之间。

传入的声压波通过背板中的孔，引起薄膜运动，其运动量与压缩和稀疏波的幅度成比例。

这种运动改变薄膜与背板之间的距离，进而改变电容。在电荷恒定的情况下，此电容变化转换为电信号。