空气击穿电压一般为3kV/mm。某些设备高真空间隙的击穿场强可高达1.3MV/cm。
影响真空间隙击穿过程有许多因素,如真空度、间隙距离、电极材料、电极状态、电压作用时间等。在真空放电中,电极表面过程,特别是阴极表面过程是非常重要的,许多研究工作都是围绕着这个问题进行的,如场致发射模型、微粒模型、微放电模型等。
真空的话没有电介质,也就不存在电离了。如果电压足够大,极板上的电子就会在巨大的电场力的作用下脱离原子核的束缚,奔向另一个极板。这也能使电容器被击穿,当然这个电压可能会很大。真空间隙的击穿电压大致与间隙距离的平方根成正比。在测量电压负荷时,钳形万用表使用方法要注意,不要超过它的量程,不然也会击穿电容。