
duv光刻机原理是经过硅片表面清洗、烘干、旋涂光刻胶、干燥、对准曝光、去胶、清洗、转移等众多工序完成的。经过一次光刻的芯片还可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数就越多,而且也需要更精密的曝光控制过程。

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