1、外界干扰或脉冲丢失 由外界干扰而导致的加工尺寸不准，可以通过监视伺服驱动单元位置指令脉冲来判断（若采用的是步进驱动和电机，则可以通过相位灯指示进行判断）。即工作台从某位置出发，经过一系列运动后返回到该出发位置后，伺服驱动单元显示的指令脉冲数值与出发位置的脉冲数值是否相同（如果是步进驱动，则相位灯指示状态是否相同）。若不相同，则很有可能存在干扰。一般情况下，受干扰后，驱动单元接收到的脉冲数要多于控制器发出的脉冲。
2、机械故障 刀架转动不到位、刀架未锁紧、传动带打滑、传动间隙大、丝杠质量等机械故障也是引起加工尺寸偏差的重要原因。
3、参数调整不当 目前，数控机床型号众多，不同厂家生产的数控机床的结构、所用材料也不相同。因此，不同数控机床的惯量、刚性、负载大小、稳定性也不尽相同。其实，即使是同一厂家、同一型号的机床，由于装配、机床使用时间、环境温度等方面影响，其运行特性等也不可能完全相同。有些伺服单元适配性较差，按出厂默认的参数很难使机床达到一个比较理想的运行效果。因此，必须根据机床实际的惯量、刚性等调整好相关参数。参数设置合理，可以极大地发挥机床的性能，提高零件加工的效率和表面质量，否则机床容易引起振荡、超调等现象，引起零件尺寸偏差和表面质量下降。
4、工艺及操作 现场必须对用户的每一步操作、切削的每一道工序等进行仔细查看，找出问题所在。
5、机械回零位置不准 在零件加工时，如果发现加工尺寸存在偏差，且偏差的尺寸恰好为丝杠导程时，很大可能是由于机械回零位置不准的原因造成。在机械回零过程中，减速开关释放后，CNC开始搜索PC信号（采用伺服电机时为电机编码器一转信号），若PC信号恰好处于减速开关释放的临界点位置时，伺服电机可能立即停止也可能再多转一圈。因此可能造成机械回零位置偏差一个丝杠导程的距离。 此时的处理方法为重新调整减速开关的位置，避免PC信号处于临界点位置，最好能够调整到电机转半圈后PC信号才到达，这样有利于提高机械回零的精度
