方法有以下几种：
1. 物理法
使用物理法进行抽真空的一般是吸附泵、吸气剂泵以及吸气剂离子泵。吸附泵通过大面积的吸附剂覆盖吸附的方式获取真空，是一种捕集真空装置；吸气剂泵则是利用吸气剂（一般是块状或者沉积式新鲜薄膜形式存在）捕获气体，进行抽真空；吸气剂离子泵将气体电离，再通过电场、磁场的作用达到吸附在材料表面的目的，从而实现抽气，又分为两种，一种是蒸发离子泵，被电离的气体持续或者以间断的升华从而被吸附，另外一种是溅射离子泵，被电离的离子，被吸附在由阴极持续溅射出来的吸气材料上，实现吸气。
2. 机械法
使用机械法抽真空的也有两种类型的泵，一种是变容真空泵，一种动量传输泵。变容真空泵通过泵的容腔容积的变化完成吸气和排气的过程，达到抽气的目的，分为复式和旋转式两种。
还有就是动量传输泵，通过高速旋转的叶片或者高速的射流，气体分子接收到这种动量，这种动量将气体连续的输送，包括分子真空泵、水蒸汽喷射泵以及扩散泵等。
无论是物理法还是机械法获取真空，油封式真空泵都需要使用真空泵过滤器，才能符合环保部门的排放标准。
机械泵概念很广，凡是由于真空泵内结构部件机械运动产生真空的都叫机械泵，下面我就比较具有代表性的油封机械真空泵即旋片真空泵的原理介绍下：
2X系列真空泵为双级结构。带有旋片泵的转子偏心地安装在圆筒形的定子中，当转子高速旋转时，装在转子槽中自由活动的旋片由于离心力和弹簧力的作用强力地被向外推出，以它的顶部和定子内壁贴紧。这样定子上的进出口被它们隔开。被它们所围的通向进口的一部分容积随着转子旋转而逐渐地并且周期地扩大，同时通向出口的一部分容积也逐渐地并且周期地减少。这样空气或混合气体首先被高真空级进口吸入，然后被压缩，通过它的排气阀排出。在工作过程中当排气压强不足以推开排气阀时，高真空级被压缩的气体只能进一步被转送到第二级，并且最后经过第二级排气阀而被排到大气中去，这样在泵的吸入口端就获得真空。排气阀都浸在油中，油在泵中循环流动起润滑和密封作用。
泵装有气镇阀，当被抽气体中含有少量水蒸气时，开启气镇阀向泵的排气腔注入空气，蒸汽可以和空气一起排出，而不致在泵中凝结成水以防止油被凝结的水乳化，从而延长泵油的使用寿命。
该泵是用来对密封容器抽除气体获得高真空的基本设备，可单独使用，也可作为前级泵。可用于真空冶炼、真空焊接、真空浇铸、真空干燥以及化工制药，电真空器件等工业的真空作业。
可在环境温度5oC-40oC范围内和进口压强小于1330pa的条件下，允许长时期连续工作。
不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的，对金属有腐蚀作用的、对泵油起化学反应的，以及含有颗粒尘埃的气体，也不适于把气体从一个容器输送到另一个容器作输送泵用。
在6650pa到大气压的进口压强下的连续工作时间，不得超过3min以免喷油或润滑不良引起泵损。
该系列真空泵可单独使用，亦可作为增压泵、扩散泵、分子泵及钛泵的前级泵使用，没有气镇阀时，可抽送适量的可凝性气体、湿空气或气水混合气体，但介质中不能含有颗粒状固体物质。
