有毒。外延用的MO源（金属有机气相物）都是有毒的，用到的原料氨气也是会有泄露的。
若是制造砷化镓的话，清洁过贝克炉用过的无尘布（一次性）也是带有点东西的。把外延片变成芯片的过程也是有毒有污染的。什么氯气、三氯化硼、去蜡液、光刻胶、蚀刻液、王水等均是有毒有害的，废水、固体废弃物很多的！
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