指标参数
➢激光:
1. 532 nmTEM00 激光器,激光功率大于30mw, 拉曼低波数好于10cm-1;
2. 激光功率连续可调,步长小于0.1mw;
➢光谱仪与检测器系统
1. 拉曼频移范围:10 cm-1 ~ 6000cm-1;
2. 光谱仪系统:焦长不小于300nm;
3. 配置1800, 600和150刻线光栅全自动切换;
4. 正常测试条件光谱分辨率:优于1.6 cm-1;
5. 光谱重复性:优于0.02 cm-1;
6. 共聚焦高灵敏度:能清晰地观察到硅的四阶拉曼峰,其中硅的三阶拉曼峰(1440 cm-1)信噪比好于25:1。
7. 光谱检测器:一英尺大尺寸CCD,1650*200像素,制冷温度低于-60°C
8. XYZ全自动机械平台:XY最小步长100nm, Z轴最小步长10nm.
9. 配置10倍明场物镜,20倍明暗场物镜,50倍明暗场物镜,50倍长焦物镜,100倍物镜。