降低光刻机K1的几种方法（光刻机为什么需要波长越短越好）

降低光刻机K1可以采用以下几种方法：

1.采用更短的光波长，例如使用紫外光曝光代替可见光曝光，可以提高分辨率，降低K1；

2.采用更高的NA物镜，可以提高光斑的收缩度，减小焦点大小，从而降低K1；

3.采用更高的光刻胶敏感度，可以使光斑更容易形成良好的图形，这样可以减小焦点大小，从而降低K1；

4.改进光刻机的调节和控制系统，以减小光源波动、光学系统对准误差、振动等造成的影响，从而降低K1。