电镀铜颗粒是什么原因（电镀铜颗粒是什么原因造成的）

可以从几个方面着手排查：

1，电流密度，是否发生在高电区?Dk设定是否合理？

2，M剂是否在正常水平，可以进行哈氏片测试来确认。

3，主盐浓度，不管是高铜低酸型、还是高酸低铜型，都调整到浓度正常范围。

4，检查磷铜阳极、阳极袋，防止由于一价铜引发的铜颗粒。

5，槽液充分过滤。暂时能够想到的就这些，楼主先参考吧。