什么是晶圆lot（晶圆工厂中sub是什么意思）

晶圆lot就是指柱状晶圆体。

将圆片沿着划片槽切割出来的电路单元叫die，圆片叫wafer，柱状体叫晶圆lot。ic生产时过程中将一批wafer同时下炉制造，因此lot指生产批次号，一般一个lot为24片wafer，工程批的时候也可为12片/lot。wafer就是整个圆片（晶圆），晶圆lot指的是一组wafer一般是12个。晶圆lot是说其实一炉子不只出一盘wafer，一般几盘放一起做叫一个批次，材料的配比相同工艺流程相同。这同一批次叫一个晶圆lot有些属性是通的。所以晶圆lot就是同一批出来的十二只晶圆盘片。