inficon真空计原理（inficon氦气检漏仪中文说明书）

用于磁悬浮转子的螺旋线圈外，在真空室下边还设置一敏感线圈，通过伺服电路控制螺旋线圈的电流，使转子悬浮在预定高度。

在真空室两侧的一对驱动线圈产生旋转磁场，驱动转子以每秒200～400转的速度自转。转子在给定的垂直位置会自动地趋向磁场最强处。