X射线发射谱主要分为特征X射线发射谱和连续X射线发射谱两种类型。特征X射线发射谱是由电子跃迁至内层轨道产生的，发射出特定能量的X射线。而连续X射线发射谱则是由高速电子撞击金属靶后产生的连续能谱X射线。产生机制是因为电子在金属靶的库仑场中被加速，当它们减速时，会散射出X射线。这些X射线的能量取决于电子的初始能量和靶的材料。
特征X射线谱是阳极原子在高速电子作用下能级跃迁产生的，连续谱是高速电子撞击阳极减速时产生的轫致辐射
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