各国光刻机精度排名（全球十大光刻机精度排名）

排名前荷兰、日本、中国。

各国光刻机精度排名为荷兰、日本、中国。排名第一的荷兰阿斯麦尔公司的euv光刻机，也是目前唯一高端光刻机，该光刻机采用13.5纳米极紫外光光源制造，目前最大光刻精度为3纳米。其次也是荷兰阿斯麦尔公司的duv光刻机。再次是日本尼康和加盟以及中国上海微电子的duv光刻机。