
以德国米铱的capaNCDT6530系列为例,绝对误差能够达到0.1微米,静态分辨率达到0.0375纳米,动态分辨率达到1个纳米。但是使用条件要特别注意,比较严苛。 电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所,高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

以德国米铱的capaNCDT6530系列为例,绝对误差能够达到0.1微米,静态分辨率达到0.0375纳米,动态分辨率达到1个纳米。但是使用条件要特别注意,比较严苛。 电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所,高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。
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