
是因为发热盘受到热电偶的控制,自动降低输出功率,以确保晶板不被炸裂。
这个时候会发现电陶炉的发热盘会明显暗下去,当面板表面温度降低一些,系统又自动会增加输出功率,这个时候发热盘又会明显的亮起来,电陶炉的工作流程都是这样的,都是这样一个来回往复的过程。

是因为发热盘受到热电偶的控制,自动降低输出功率,以确保晶板不被炸裂。
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