超声波清洗技术最早出现于20世纪30年代早期,当时,位于美国新泽西州的美国无线电公司的一个实验室中的技术人员尝试用自制的简陋超声波清洗系统清洗某些物体,但试验未获成功。超声波可以对工件施加非常巨大的能量,尤其适用于清除牢固地附着在基底上的污垢。然而在某些情况下,超声波强大的能量也会损伤粘有污垢而性质脆弱的基底材料。在过去的十几年中,超声波领域中出现了一些技术革新,提高了清除敏感基底上的污物的安全系数。在此期间,超声波技术,特别是中高频超声波清洗技术有了新的发展,并成为行业的亮点。
近年来,人们发现用兆声波(根据超声波的频率不同,把40 kHz及其以下的称为常规或低频超声波,把1 000 kHz以上的称为高频超声波,又称兆频超声波,简称兆声波)清洗可以去除掉半导体材料表面上的超细污垢微粒,并且不会损伤基底材料的表面。目前这项技术已经得到了很快的普及。
一般来说,清洗的工艺流程依被清洗物体清洗的难易程度及清洗数量而决定。
主要清洗流程如下:
1)热浸洗或喷洗:目的是将工件上的污染物软化、分离、溶解,并减轻下道清洗工序的负荷。
2)超声波清洗:利用超声波产生的强烈空化作用及振动将工件表面的污垢剥离脱落,同时还可将油脂性的污物分解、乳化。
3)冷漂洗:利用流动的净水将已脱落但尚浮在工件表面上污物冲洗干净。
4)超声波漂洗:溶剂为干净的清水,工件浸入后,利用超声波将浮在工件各边、角及孔隙处的污物清洗干净。
5)热净水及冷净水漂洗:进一步去除悬附在工件表面上的污物微粒。
6)热风烘干:利用一定的温度和风速,使零件表面快速干燥。
1、槽体采用加厚（2.0）不锈钢SUS304；
2、超声功率可0-百%任意调节，频率28Khz、40Khz可任意选择，适用不同清洗要求，彻底解决清洗盲区；
3、加热系统30-110℃可调；
4、二十四小时连续工作，适应大批量清洗；
5、先进的第二代发生器，独特的扫频功能，转换效率达97%；
7、流水线大批量生产，品质一致性高，成本控制良好；
此设备由超声波清洗槽、超声波漂洗槽，纯水切水槽、抛动装置、切水装置、储液槽、加热系统、循环过滤系统、烘干室（门自动提升装置）等组成。
适用范围：精密光学镜片、液晶显示板、透镜、棱镜、显微镜片等的清洗
清洗流程：上料→中性液超声波清洗（设抛动、过滤、储液槽加热）→中性液超声波清洗（设抛动、过滤、储液槽加热）→纯水超声波清洗（设抛动）→纯水超声波清洗（设抛动）→纯水超声波清洗（设抛动）→纯水超声波清洗（设抛动、过滤、储液槽加热）→纯水切水槽（设切水装置、过滤、储液槽加热）→烘干（红外线、门自动提升装置）
1.为避免清洗槽，因热胀冷缩的原因而使换能器脱落，因此不能将过热的清洗液骤然倒入清洗缸内。 2.正确的选择清洗剂、对清洗效果很重要，要根据所需清洗物体表面的附着物，来确定清洗剂。一般有：除油剂、除锈剂、除漆剂、除碳剂、去蜡剂、及其它有机化学清洗剂。不能将含强酸、强碱的溶液注入到清洗槽内、去腐蚀清洗槽。
3.超声波清洗机在工作的过程中、会使液体产生一定的温度、使液体产生的液温、夏天一般稳定在55℃左右、冬天在45℃左右。
4.把需要清洗的物体放入清洗篮内或专用夹具上，被清洗物体不与槽体接触会有更佳的清洗效果。
5.加热器安装在内槽后侧的2/3以下的部位，在加热时、不要用手去触摸加热板部位，小心烫伤，在液位小于2/3内槽高度时不能加热，建议不要将超声波内槽溶液、长期加温到80℃以上、那样会缩短超声波清洗机的使用寿命。
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