对于形貌成像:主要信号是二次电子,背散射电子也有使用吸收电流成像,是比较特殊的应用,往往用于专门材料检测。
对于成分分布成像:背散射电子, 阴极荧光,元素特征X射线。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;
②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;
③试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
对于形貌成像:主要信号是二次电子,背散射电子也有使用吸收电流成像,是比较特殊的应用,往往用于专门材料检测。
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②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;
③试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
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