扫描电镜能谱仪主要用于材料的表面化学分析和元素分布分析。通过对样品表面反射电子的能量分析，可以确定样品的化学成分和元素分布情况，为材料科学、生物学、地质学等领域的研究提供有力的支持。
扫描电镜及能谱仪是一种用于材料科学、能源科学技术、化学工程学科领域的电子光学仪器
以电影摄影显像方式，用聚焦电子束在样品表面扫描时激发产生的某些物理信号来调制成像
放大倍数30000倍，可检测表面元素组成
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