sem的原理及应用（sem测试方法）

扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope ，缩写 为SEM），简称扫描电镜，是利用细聚焦电子束在样品表面扫 描时激发出来的各种物理信号来调制成像的一种常用的显微分 析仪器。

电子枪产生的电子束经过电磁透镜聚焦，扫描线圈控制电子 束对样品进行扫描，与样品相互作用产生各种物理信号，探测 器将物理信号转换成图像信息。样品不同的形貌表现出不同的衬度（图像不同部位之间的亮度差异），因此扫描电子显微镜 可以观察到样品的表面的形貌。

注意，突出的尖棱，小粒子和比较陡峭的斜面处二次电子产 额较多，在图像上表现为亮度较大。平面的二次电子产率较 小，在图像上表现为亮度较低。在深的凹槽处二次电子产率也 高，但是，二次电子离开样品表面的数量少，在图像上表现为 较暗。