
光刻机是法国人尼埃普斯(Nicephore Niepce)于1822年发明的。起初,尼埃普斯发现了一种能够刻在油纸上的印痕,当其出现在了玻璃片上后,经过一段时间的暴晒,透光的部分就会变得很硬,但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉。

光刻机是法国人尼埃普斯(Nicephore Niepce)于1822年发明的。起初,尼埃普斯发现了一种能够刻在油纸上的印痕,当其出现在了玻璃片上后,经过一段时间的暴晒,透光的部分就会变得很硬,但是在不透光的部分可以用松香和植物油将其洗掉。
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