
光刻机是在1822年由法国人尼埃普斯发明的。最初,尼埃普斯发现了一种能够刻在油纸上的印痕,这种印痕在出现在玻璃片上后,经过一段时间的暴晒,透光的部分会变得很硬,而不透光的部分则可以用松香和植物油将其洗掉。虽然光刻机在早期的功能相对简单,使用的材料也比较粗糙,但它为后来的集成电路制造奠定了重要基础。

光刻机是在1822年由法国人尼埃普斯发明的。最初,尼埃普斯发现了一种能够刻在油纸上的印痕,这种印痕在出现在玻璃片上后,经过一段时间的暴晒,透光的部分会变得很硬,而不透光的部分则可以用松香和植物油将其洗掉。虽然光刻机在早期的功能相对简单,使用的材料也比较粗糙,但它为后来的集成电路制造奠定了重要基础。
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