
半导体材料检测的常见性能参数主要为电学性能、光学性能、限用物质等的检测。电学性能主要检测电阻率、霍尔系数、磁阻等性能;光学性能主要检测器光电导、光吸收等性能。而半导体材料的关键性能检测指标主要为禁带宽度、电阻率、载流子迁移率(载流子即半导体中参加导电的电子和空穴)、非平衡载流子寿命、位错密度等。
除此之外,我们还可以检测其杂质含量、杂质缺陷能级等来了解材料的纯度、补偿度。
通过X射线、金相分析来了解半导体材料晶体结构的层错、位错密度、夹杂和李晶等情况。

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