duv光源可以做到120纳米吗

不能做到120纳米。

所谓duv光源就是指duv光刻机的深紫外光光源，其光源波长是193纳米或248纳米，其中193纳米是目前常用的duv光源。193nm氟化氩激光器作为光源使用掩膜版微缩投影技术结合浸润系统实现134nm光刻，但其光源本身就是193纳米的，这是深紫外光波长的下限，不能做到120纳米。