DUV光刻机是一种用于制造微纳米结构的设备,它使用激光技术来将设计图案刻录到芯片表面,从而实现芯片的微细加工。
它通常使用深紫外线(DUV)激光,具有更精细的刻蚀分辨率,可以制造出更小的结构,比如芯片上的微型电路元件。
DUV光刻机是一种用于制造微纳米结构的设备,它使用激光技术来将设计图案刻录到芯片表面,从而实现芯片的微细加工。
它通常使用深紫外线(DUV)激光,具有更精细的刻蚀分辨率,可以制造出更小的结构,比如芯片上的微型电路元件。
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