1，没有正负、输入、输出标识的检测
对于数字电路中的固态继电器，因与TTL、CMOS集成芯片配合，一般固态继电器的输入电压＜6V，此时万用表应选择电阻档的R×100或R×1K。对于功率、外形较大的固态继电器，它的输入电压较宽，如3~32V，此时万用表应选择电阻档的R×10K。
输入与输出的判断：在测量某一端时，万用表的指针如向右偏移（电阻的阻值在几十千欧姆至一百多千欧姆），那么此端为输入端。否则为输出端，也可能固态继电器已损坏。再检测另一端加以判断。
正负极的判断：在检测到输入端状态下，黑表笔搭接的电极是“+”、红表笔搭接的电极是“-”，红、黑表笔颠倒测量时，电阻的阻值为“∝”，即表的指针停留在最左端。否则固态继电器已损坏。
2，有正负标识、输入采用了单个发光二极管
因有正负标识、输入、输出标识，黑表笔搭接输入的“+”、红表笔搭接输入的“-” 万用表的指针如向右偏移（电阻的阻值同上说明），否则固态继电器已损坏。调换红、黑表笔，电阻的阻值为“∝”否则固态继电器已损坏。
3，有正负标识、输入采用了两个反并的发光二极管
在检测这种固态继电器时，红、黑表笔测量时的电阻的阻值与调换后红、黑表笔测量时的电阻的阻值应基本相同，其电阻的阻值范围同上，否则固态继电器已损坏。
4，输出端检测
输出端采用了功率晶体管（直流型）或双向可控硅（交直流型），测量时将万用表置于电阻档的R×10K，红、黑表笔测量输出两个电极与调换后红、黑表笔测量的阻值都为“∝”否则固态继电器已损坏。
5， 输入与输出间的电气绝缘检测
固态继电器采用了光电耦合器实现输入与输出之间的电气隔离，而且具有耐压在2500V左右，所以，测量时将万用表置于电阻档的R×10K，红、黑表笔（调换后红、黑表笔）分别搭接输入、输出电极。其绝缘电阻的阻值为“∝”。否则固态继电器输入、输出间绝缘已击穿损坏。
