氮化铝(AlN)是一种无机物,所以是无机非金属材料。氮化铝是共价键化合物,属于六方晶系,铅锌矿型的晶体结构,呈白色或灰白色。AlN是原子晶体,属类金刚石氮化物,最高可稳定到2200℃。室温强度高,且强度随温度的升高下降较慢。导热性好,热膨胀系数小,是良好的耐热冲击材料。由于氮化铝压电效应的特性,氮化铝晶体的外延性伸展也用於表面声学波的探测器。而探测器则会放置於矽晶圆上。只有非常少的地方能可靠地制造这些细的薄膜。
氮化铝(AlN)是一种无机物,所以是无机非金属材料。氮化铝是共价键化合物,属于六方晶系,铅锌矿型的晶体结构,呈白色或灰白色。AlN是原子晶体,属类金刚石氮化物,最高可稳定到2200℃。室温强度高,且强度随温度的升高下降较慢。导热性好,热膨胀系数小,是良好的耐热冲击材料。由于氮化铝压电效应的特性,氮化铝晶体的外延性伸展也用於表面声学波的探测器。而探测器则会放置於矽晶圆上。只有非常少的地方能可靠地制造这些细的薄膜。
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