SLM是什么单位

是指升每分钟。

slm 升每分钟 standard litre per minute 的缩写,意思是标准状态下 1L/min 的流量。 slm 这种单位,用作,微小气体流量计,以及控制器的流量单位, 广泛应用于真空半导体行业。