微细加工方法有哪些

微细加工技术中的加工方法种类繁多，可以按现代加工技术的一般分类方法将其分为四大类：

1）去除加工将材料的某一部分分离出去的加工方式，如光刻、化学刻蚀、电解抛光等；

2）增材加工同种或不同材料的附和加工或相互结合加工，如化学镀、电镀、溅射沉积、离子镀膜等；

3）变形加工使材料形状发生改变的加工方式，如微细离子流抛光（研磨、压光）、热流动表面加工（气体高温、高频电流、热射线、电子束、激光）等；

4）整体处理及表面改性等。