佛山市地域在先秦时期属南越。秦汉时期，除高明以外，佛山市地域属南海郡番禺县。隋朝后至明朝属南海县(原番禺县)。明朝后佛山市区域分属南海县，顺德县，三水县，高明县，其中市中心属南海县。
1950年2月15日，成立三水县人民政府。3月1日，成立南海县人民政府。3月20日成立顺德县人民政府。7月1日，佛山改市为镇，归南海县管辖。
1951年6月26日，佛山镇改镇为市。
1954年6月，中共粤中区党委、粤中行署由江门市迁入佛山市大福路10号。粤中行署辖24县（中山、顺德、南海、三水、番禺、东莞、宝安、增城、博罗、龙门、珠海、新会、高明、鹤山、封开、怀集、高要、广宁、四会、新兴、罗定、云浮、郁南、德庆），1市（石岐）和2省辖市（江门、佛山）。
1956年2月，成立中共佛山地委、佛山专区，辖13县（中山、珠海、番禺、顺德、南海、三水、新会、鹤山、高明、台山、开平、恩平、花县），1市（石岐）和2省辖市（佛山、江门）。
1958年佛山、江门改县级市，由佛山专区领导。
1958年11月至1959年1月，佛山专区曾改称广州专区。
1970年，佛山专区更名为佛山地区，佛山、江门改为县级市。佛山地区辖南海、顺德、三水、高鹤、台山、恩平、番禺、中山、珠海、新会、开平、斗门12县和佛山、江门两市。
1983年6月1日，撤销佛山地区建制，实行市领导县体制。佛山市辖中山、南海、顺德、高明、三水5县。
1984年6月，佛山市辖汾江区（1986年易名为城区）、石湾区、南海、顺德、高明、三水县，代管中山市。
1992-1994年，顺德、南海、三水、高明先后撤县设市（县级），由佛山代管。
2002年12月国务院批复同意撤销原佛山辖区的城区、石湾区以及县级南海市、顺德市、三水市和高明市，同意设立佛山市禅城区、南海区、顺德区、三水区和高明区五个区。
