由于X射线具有很强的穿透能力,深紫外波段的光刻胶对X射线的吸收率很低,只有少SC250-030数人射的X射线能对光化学反应做贡献,通常深紫外曝光的光刻胶在X射线波段灵敏度都非常低,其曝光效率要下降1~2个数量级。因此,提高X射线光刻胶的灵敏度是光刻胶发展的重要方向。
由于X射线具有很强的穿透能力,深紫外波段的光刻胶对X射线的吸收率很低,只有少SC250-030数人射的X射线能对光化学反应做贡献,通常深紫外曝光的光刻胶在X射线波段灵敏度都非常低,其曝光效率要下降1~2个数量级。因此,提高X射线光刻胶的灵敏度是光刻胶发展的重要方向。
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