光刻胶又称光致抗蚀剂,是一种对光敏感的混合液体。其组成部分包括:光引发剂(包括光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。
光刻胶可以通过光化学反应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。
依据使用场景,这里的待加工基片可以是集成电路材料,显示面板材料或者印刷电路板。
光刻胶被广泛应用于模拟半导体、发光二极管、微机电系统、太阳能光伏、微流道和生物芯片、光电子器件/光子器件以及封装等领域。
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依据使用场景,这里的待加工基片可以是集成电路材料,显示面板材料或者印刷电路板。
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