1、光刻机 高精度光刻机
2、刻蚀设备 前三家厂商LAM、东京电子、应用材料市占率超过90%,
3、镀膜设备 分为PVD和CVD,
4、量测设备 主要包括自动检测设备(ATE)、分选机、探针台等。
5、清洗设备 主要设备厂商SCREEN、东京电子、LAM合计占比88%,
6、离子注入设备。
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2、刻蚀设备 前三家厂商LAM、东京电子、应用材料市占率超过90%,
3、镀膜设备 分为PVD和CVD,
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5、清洗设备 主要设备厂商SCREEN、东京电子、LAM合计占比88%,
6、离子注入设备。
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