现在的光刻机最基本，最重要的部分是第一光源系统，光刻机需要能发出大功率光波进行光刻的光源系统，最先进的EUV光刻机使用的是准分子激光照射锡液滴激发出极紫外光波。
第二镜头系统，光刻机需要极其精密的光学系统，将光源系统发出的光波导入到工作台上。
第三双工件台，这个工作台运动精度极其精密！
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