溅射和溅射靶材的区别和用途（溅射靶材真的很难生产吗）

一、原理不同

溅射靶材利用高能电子束轰击靶材，使材料表面产生很高的温度，由固态直接升华到气态沉淀到工件表面所形成的薄膜，主要运用在光学方面。

溅射是高能离子轰击靶材，使靶材表面原子飞翼出来的过程称溅射。

二、特点不同

溅射靶材的粘性较差，但膜的均匀性好。

溅射的溅射能量大和基底的粘附性也好，但是膜会有颗粒感，就是均匀性稍差。