真空机工作原理:真空机是以泵为主泵,以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵,因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点,而且同时保留了罗茨泵能迅速工作,有比较大抽气速率等优点。
真空机工作原理:真空机是以泵为主泵,以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵,因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点,而且同时保留了罗茨泵能迅速工作,有比较大抽气速率等优点。
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