光刻胶由树脂,感光剂,溶剂,光引发剂等组成的混合液态感光材料。原理是利用光化学反应,经光刻工艺将所需要的微细图形转移到加工衬底上,来达到在晶圆上刻蚀出需的图形的目的。
从光刻胶的发展历程看,从 20 世纪 50 年代至今,光刻技术经历了紫外全谱(300-340nm),G 线(436nm),I 线(365nm),深紫外(Deep Ultraviolet,DUV,248nm 和 193nm),以及目前最引人注目的极紫外(EUV,13.5nm)光刻,电子束光刻等六个阶段
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