传统的MEMS封装主要有金属封装,陶瓷封装和塑料封装三种形式,金属封装和陶瓷封装由于其导热性能好,气密性好等优点在一些单个器件的封装中经常使用,铸模塑料由于密封性能不够好,而限制了塑料封装在某些对密封性能要求较高的领域的应用,目前,吸气剂方面的研究成果则给了塑料封装在MEMS方面应用的新契机。
吸气剂可以用来去除MEMS器件内部的湿气以及其他一些会影响器件可靠性的微粒,使用适量的吸气剂和塑料封装技术就可能获得准密封的封装效果,从而在降低封装成本的同时保证了MEMS器件的可靠性。
传统的MEMS封装主要有金属封装,陶瓷封装和塑料封装三种形式,金属封装和陶瓷封装由于其导热性能好,气密性好等优点在一些单个器件的封装中经常使用,铸模塑料由于密封性能不够好,而限制了塑料封装在某些对密封性能要求较高的领域的应用,目前,吸气剂方面的研究成果则给了塑料封装在MEMS方面应用的新契机。
吸气剂可以用来去除MEMS器件内部的湿气以及其他一些会影响器件可靠性的微粒,使用适量的吸气剂和塑料封装技术就可能获得准密封的封装效果,从而在降低封装成本的同时保证了MEMS器件的可靠性。
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