(1)在MOS电路中作为MOS器件的绝缘栅介质,器件的组成部分。
(2)扩散时的掩蔽层,离子注入的(有时与光刻胶Si3N4层一起使用)阻挡层 。
(3)作为及策划年高点了的隔离截止材料 。
(4)作为电容器的绝缘介质材料 。
(5)作为多层金属互连层之间的介质材料 。
(6)作为对器件和电路进行钝化的钝化层材料。
(1)在MOS电路中作为MOS器件的绝缘栅介质,器件的组成部分。
(2)扩散时的掩蔽层,离子注入的(有时与光刻胶Si3N4层一起使用)阻挡层 。
(3)作为及策划年高点了的隔离截止材料 。
(4)作为电容器的绝缘介质材料 。
(5)作为多层金属互连层之间的介质材料 。
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